摘要：今年七月初，日本政府修改了對韓國的出口政策，將加強含氟聚酰亞胺、氟化氫和感光劑光刻膠這三種材料面向韓國的出口管制。其中，高純度的氟化氫在集成電路、薄膜液晶顯示器和半導體等行業中用于清洗和腐蝕芯片，其產品的純度、潔凈度直接影響集成電路的電性能、合格率和可靠性。而且氟化氫是一種一元弱酸，有毒性，極易揮發，難以長期保存。近日三星稱還剩一個月的氟化氫存量，屆時不得不面臨減產或者停產的困境。對此，韓國也積極向別國尋找進口替代產品，本文對影響國內半導體行業發展的高純氟化氫產業現狀進行解析。

　　工藝：提純技術、制備環境、設備材質和分析測試是難點

　　目前，我國的提純技術主要有正壓精餾、負壓精餾和亞沸蒸餾三種，正壓精餾和負壓精餾是應用最廣泛的氟化氫提純方法。上述三種精餾方式提純高純度氟化氫都存在一個共性問題，即原料氟化氫中低沸點雜質的去除，尤其是砷、硫等。

　　高純度氟化氫的制備環境考核指標主要是廠房凈化級別以及房間內控溫。高純度氟化氫生產要求廠房結構與外界必須嚴密隔離，整個生產車間廠房凈化級別要求達萬級以上，灌裝和包裝車間局部要求百級以上，化驗分析單元要求千級以上。廠房內的溫度一般要求在22.2±2.5 ℃ 區間，局部要求控制在22.2±0.11℃區間;潔凈室濕度要求在40% 左右，不得低于30%，不得高于50%。

　　設備材質的選型直接決定高純度氟化氫的產品質量，國內高純度氟化氫的產品質量略低于國外發達國家，也主要是因為國內高純度氟化氫的設備材質純度低于國外發達國家，國內PFA 材質生產過程中均要添加少量的滑石粉以及碳酸鈣等填料，這些填料與氟化氫后會進行反應或滲透反應，生成易溶于酸的化合物，導致產品質量較低。

　　由于高純度氟化氫的雜質都是微量和痕量級的，這決定了分析檢測的難點在于高端分析設備的選用和高純度氟化氫的集中取樣。高端儀器設備的精度和準確率決定了其市場價格，國內企業由于資金緊缺，一般難以承受價格高昂的測試儀器費用。

　　生產：氟化氫產能過剩，但高純度氟化氫逆勢增長

　　現階段，我國是世界最大的氟化氫生產基地，生產企業有 50多家，萬噸以上的生產裝置有幾十套。從發展軌跡來看，2008年以后，氟化氫的產能利用率大幅下降，尤其是近幾年生產企業迫于環保壓力，到2018年氟化氫產能利用率約為61%。但由于國內半導體行業的飛速發展，推動了對高純度氟化氫的需求。2017年我國高純度氟化氫產能達到19.8萬噸，相對于2012年，年復合增長率達到14.87%。如圖1。

圖1 2010-2018年我國高純度氟化氫產能變化

(來源：公開資料整理)

　　市場：國產占有率不足5%，高度依賴進口

　　全球高純度氟化氫市場主要被日本企業壟斷，我國高純度氟化氫市場國產占有率不足5%，和韓國一樣主要從日本瑞星化工、昭和電工以及森田化學進口。

　　我國高純度氟化氫行業起步較晚，但在下游市場快速發展的推動下(如圖2)，高純度氟化氫行業技術水平不斷提升，出現了濱化、多氟多、安集、新陽、江峰等高端高純度氟化氫生產企業。

圖2 2018年 高純度氟化氫應用領域份額

(來源：前瞻產業研究院)

　　值得一提的是，隨著我國高純度氟化氫品質的提升，產品的毛利率穩步增長，根據上市公司的年報，部分已經達到了70%以上。其中，多氟多和濱化的產品已經出口韓國，走向國際市場。國產企業在日本對韓國出口材料管制中受益。

　　政策：淘汰高污染和小規模廠商

　　在2011年，工信部發布了《氟化氫行業準入條件》，提出新建生產企業的氟化氫總規模不得低于5萬噸/年，新建氟化氫生產裝置單套生產能力不得低于2萬噸/年。而且根據《氟化工產業調整指導目錄(2011)》，除電子級及濕法磷酸配套除外，新建氟化氫裝置已被列入限制類項目，5000噸/年以下工藝技術落后和污染嚴重的氟化氫裝置被列為淘汰類。

　　投資：在建高純度氟化氫產能進一步增加

　　在市場缺口和技術進步的推動下，我國氟化氫企業進一步擴大了高純度氟化氫的產能，2018年12月，索爾維藍天擬擴建高純度氟化氫產能，同時新增一套年產15000噸/年高純度氟化氫生產線，使高純度氟化氫總產能達到30000噸/年;2018年6月，鷹鵬集團 投資新公司建設二期年產6000噸高純度氟化氫生產線;2018年1月，天賜材料發布關于投資建設年產5萬噸氟化氫、年產2.5 萬噸高純 度氟化氫改擴建項目的公告，如表1。

表 1 我國高純度氟化氫生產企業在建產能匯總

　　(來源：公開資料整理)

　　結語

　　我國高純度氟化氫行業起步較晚，市場的國產占有率不足5%，高度依賴日本進口。提純技術、制備環境、設備材質、分析測試是工藝的難點。目前，國內氟化氫產能過剩，但高純度氟化氫逆勢增長，在建高純度氟化氫產能進一步增加，部分企業已經實現了日本產品替代并向韓國出口。