摘要：因為二戰歷史遺留問題引發的連鎖反應，日本政府在今年7月初加強了對韓國半導體行業的出口管制，具體包含光刻膠、氟化氫和含氟聚酰亞胺這三種材料。其中，光刻膠在半導體行業的發展中扮演了非常重要的角色，它是電子元件集成度提高的光刻技術關鍵材料，日本政府把它作為一種戰略資源，說明了其在該行業領先地位，我國也嚴重依賴從日本進口，本文對光刻膠的國產化進程進行了解析。

　　起步太晚，進口只是開始

　　光刻膠是利用光化學反應經曝光、顯影、刻蝕等工藝將所需要的微細圖形從掩模版轉移到待加工基襯底上的有機化合物，是集成電路和平板顯示兩大產業光刻工藝的重要部分，也是國際上技術門檻最高的微電子化學品之一。

　　清華大學核能與新能源技術研究院的報告顯示，IBM在上世紀70年代已經開始了化學放大(CA)光刻膠技術的研發，我們國家從2000年才開始重視光刻膠技術，幾乎落后了30年。相比之下，日本企業重視向半導體產業鏈縱深發展，積極研發光刻膠，在全球前十名光刻膠生產企業中有七家是日本企業，包括日立化成、東京應化、三菱化學、旭化成、住友電木、住友化學和富士膠片。他們總計占據了全球市場60%以上的份額，如圖1所示。

圖1 全球光刻膠市場份額

(來源：賽迪顧問)

　　2015年，我國光刻膠市場規模達到51.7億元，近幾年，伴隨著我國液晶面板和半導體行業的快速崛起，市場增長率一直保持10%以上。然而，國內企業起步晚，加上技術水平的限制，光刻膠的自給率不足10%，僅有北京科華、蘇州瑞紅等幾家企業生產。

　　國內企業主要集中在技術含量較低的PCB領域，主要從臺灣長興、日本旭化成、日本太陽油墨進口，如表1所示。

表1 PCB光刻膠主要進口企業

(來源：公開資料整理)

　　我國的LCD光刻膠市場規模在12.5億元以上，市場主要由日本及韓國的廠商壟斷，主要從日本橡膠合成、LG化學、東京應化、CHEIL等企業進口，如表2所示。

表2 LCD光刻膠主要進口企業

(來源：公開資料整理)

　　半導體光刻膠核心技術被日本和美國企業壟斷，KrF/ArF光刻膠幾乎全部依賴進口，日本合成橡膠、信越化學、東京應化、住友化學，美國SEMATECH、IBM，韓國東進化學等企業生產規模較大，如表3所示。

　　表3 半導體光刻膠主要進口企業

　　(來源：公開資料整理)

　　一定程度上，進口滿足了國內市場對于不同光刻膠的需求，推動了下游印刷電路板、液晶顯示器和芯片行業的發展，然而下游產業的發展也反哺了我國光刻膠產業的發展，進口也只是開始。

　　國產化進程多處于項目建設與研發階段

　　我國生產光刻膠的企業包括：蘇州瑞紅、北京科華、濰坊星泰克、永太科技、容大感光等，蘇州瑞紅和北京科華的g線正膠、i線正膠取得了量產，北京科華KrF光刻膠通過了中芯國際認證，ArF光刻膠處于研發階段。飛凱材料的濕膜光刻膠、永太科技的彩色/黑色光刻膠處于項目建設階段。如表4所示。

表4光刻膠國產化進程

(來源：公開資料整理)

　　國家科技重大專項(02專項)“極大規模集成電路制造裝備及成套工藝”—i 線光刻膠產品開發及產業化項目由蘇州瑞紅承擔，2018年年中順利通過了專家組驗收，并且實現量產，可以實現0.35μm的分辨率。

　　北京科華承擔了KrF線(248nm)光刻膠產業化課題。目前其已完成了年產能10噸的248nm KrF光刻膠生產線的建設。據悉，北京科華193 nm ArF干法光刻膠中試產品也已完成在國內一流集成電路制造企業的測試。

　　結語

　　我國光刻膠行業起步晚，光刻膠市場的國產化自給率很低，主要依賴進口。然而，在下游印刷電路板、液晶顯示器、芯片行業和國家科技重大專項政策的推動下，國產廠商已經實現了部分技術突破，相信隨著半導體行業的發展和中國人消費需求的提高，光刻膠的進口依賴程度會進一步降低，讓我們拭目以待。